PIMars XYZ 피에조 스테이지는 스캐닝, 정렬, 계측 분야에서 정밀도의 한계를 확장합니다. 또한 서브나노미터 분해능, 높은 강성 및 동적 응답성을 결합하여 차세대 연구 및 제조에서 요구되는 정확도와 속도도 제공합니다.
Aysenur Ünal, PI 제품 매니저, 피에조 시스템 및 액추에이터 부문
정밀 응용 분야를 위한 나노포지셔닝 스테이지의 6가지 주요 이점
- 초정밀 모션과 손쉬운 통합: 서브나노미터 분해능, 99.97%의 선형도 및 장기적인 안정성을 제공하며 정전용량 센서를 통해 정밀하게 제어됩니다. 우수한 스캐닝 평탄도(±30nm Z축 진직도 및 평탄도)와 컴팩트한 크기 덕분에 공간이 제한된 환경에서도 정확한 평면 이동과 손쉬운 통합이 가능합니다.
- 다용도 광학 접근: 투명 애퍼처가 투과광 및 빔 정렬 작업을 지원하며, 포토닉스 및 현미경 응용 분야에서 유연하게 활용할 수 있습니다.
- 최대 안정성: 유격이 없는 플렉셔 가이드가 마모와 마찰이 없는 모션을 제공하며, 높은 강성 덕분에 충격, 진동, 온도 변화에도 견고함이 유지됩니다.
- 높은 동적 성능: 병렬 위치 측정 기능을 갖춘 피에조 드라이브가 실시간으로 크로스토크를 보정하며, 나노미터 수준의 트래킹 정확도를 제공합니다. 이를 통해 고속 응용 분야에서도 수율 향상, 품질 관리 개선 및 비용 절감을 실현할 수 있습니다.
- 탁월한 내구성: 완전 절연된 PICMA® 피에조 액추에이터는 기존 액추에이터보다 수명이 최대 10배 더 길며, 1,000억 회 이상의 반복 작동에서도 신뢰성이 입증되었습니다.
- 빠른 공급: P-561, P-562, P-563 모델은 즉시 출하 가능하며, 매우 짧은 납기를 보장합니다.
당사의 XYZ 나노포지셔닝 스테이지는 다음과 같이 최고 수준의 정밀도를 요구하는 응용 분야에 이상적입니다.
- 현미경학 및 생명 과학: 초고분해능, 공초점 및 AFM 이미징, Z-스태킹, 살아있는 세포 연구, 바이오 나노기술. 우수한 스캐닝 평탄도로 선명한 3D 이미지 구현
- 나노기술: 연구 및 산업 응용 분야를 위한 나노구조체의 정밀 조작 및 조립
- 포토닉스 및 광학: 광섬유 및 광학 정렬, 간섭계, 정밀 광학 조정 중앙 애퍼처가 투과광 또는 빔 정렬 작업 지원
- 반도체 및 계측: 웨이퍼 검사, 리소그래피, 마스크 정렬, 결함 검출 등 나노미터 수준의 정밀도와 높은 동적 성능이 필수적인 응용 분야에 이상적
