피에조 플렉셔 틸팅 미러

피에조 플렉셔 미러 플랫폼의 높은 강성 덕분에 우수한 동적 성능과 안정적인 위치 제어가 가능합니다. 이 컴팩트한 디바이스는 레이저 가공 및 레이저 스티어링에서 빔 편향에 자주 사용됩니다. 또한 병렬 키네마틱 설계를 통해 팁과 틸트 축에서 동일한 성능을 제공하며, 공통의 고정 피벗 포인트를 가지면서 편광 방향의 변화가 없습니다. 

S-335 Piezo Tip/Tilt Platform

Beam Steering with Very Large Deflection Angles for Mirrors and Optics

S-331 High-Speed Tip/Tilt Platform

Short Settling Time and High Dynamic Linearity

S-340 Piezo Tip/Tilt Platform

High Dynamics for Mirrors and Optics to Ø 75 mm (3")

S-316 Piezo Z and Tip/Tilt Scanner

High Dynamics Piezo Scanner with Aperture
  • Clear aperture 10 mm
  • Tripod piezo drive
  • Linear travel ranges to 12 µm (phase shifter)
  • Sub-ms response time
  • Sub-µrad resolution
  • Closed-loop versions for increased precision

S-330 Fast Piezo Tip/Tilt Platform

Dynamic, with Large Deflection Angles, for Mirrors and Optics