피에조 플렉셔 미러 플랫폼의 높은 강성 덕분에 우수한 동적 성능과 안정적인 위치 제어가 가능합니다. 이 컴팩트한 디바이스는 레이저 가공 및 레이저 스티어링에서 빔 편향에 자주 사용됩니다. 또한 병렬 키네마틱 설계를 통해 팁과 틸트 축에서 동일한 성능을 제공하며, 공통의 고정 피벗 포인트를 가지면서 편광 방향의 변화가 없습니다.
S-335 Piezo Tip/Tilt Platform
Beam Steering with Very Large Deflection Angles for Mirrors and Optics
S-331 High-Speed Tip/Tilt Platform
Short Settling Time and High Dynamic Linearity
S-340 Piezo Tip/Tilt Platform
High Dynamics for Mirrors and Optics to Ø 75 mm (3")
S-316 Piezo Z and Tip/Tilt Scanner
High Dynamics Piezo Scanner with Aperture
Clear aperture 10 mm
Tripod piezo drive
Linear travel ranges to 12 µm (phase shifter)
Sub-ms response time
Sub-µrad resolution
Closed-loop versions for increased precision
S-330 Fast Piezo Tip/Tilt Platform
Dynamic, with Large Deflection Angles, for Mirrors and Optics