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PIHera XY 피에조 스테이지: 초정밀 모션과 장기 안정성을 위한 소형 포지셔닝 시스템

피에조세라믹 액추에이터는 PIHera XY 스테이지의 핵심 구동 부품입니다.. PI는 자체적으로 제조한 PICMA® 멀티레이어 액추에이터를 사용합니다. 이 액추에이터는 전체 세라믹 단열로 인해 습기로부터 보호되므로 높은 신뢰성과 긴 수명이 특징입니다.
초정밀 포지셔닝 정확도
높은 반복성과 최적의 안정성을 갖춘 서브나노미터 범위의 포지셔닝은 높은 품질의 정전용량 센서를 기반으로 합니다. 백래시가 없는 플렉셔 가이드로 우수한 가이드 정확도를 자랑합니다.
신속하고 유연하게 사용 가능
XY 피에조 스테이지 P-621.2CD, P-622.2CD, P-625.2CD 및 P-628.2CD는 120µm~1000µm의 이동 범위를 제공하므로 광범위한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 반도체 및 포토닉스 산업에서는 레이저 시스템이나 광학 부품을 정렬하기 위한 간섭 측정이나 웨이퍼 검사에 사용됩니다. XY 스테이지는 샘플과 물체의 위치를 나노미터 단위의 정밀도로 제어하고 안정화하기 위해 현미경 검사에도 널리 사용됩니다.
리드 타임이 짧으므로 납기가 중요한 프로젝트를 효율적으로 실행할 수 있습니다.
자세한 내용은 다음을 참조해주세요.
Physik Instrumente(PI) 소개
독일 카를스루에에 본사를 둔 PI는 산업 자동화, 포토닉스, 반도체, 현미경 및 생명 과학의 시장 부문에서 고정밀 포지셔닝 기술 및 피에조 애플리케이션 분야의 시장 및 기술 리더입니다. 전 세계 고객과 긴밀히 협력하는 PI의 1,700명 이상의 전문가는 50년 이상 기술적인 실현 가능성의 한계를 끊임없이 뛰어넘어 왔습니다. 다양한 드라이브 기술, 자체 개발한 센서 기술, 전자 장치 및 제어 기술이 이를 위한 기반이 됩니다. PI의 포트폴리오는 구성품에서 하위 시스템, 완전한 맞춤형 솔루션에 이르기까지 다양합니다. 560개 이상의 특허를 취득했거나 출원 중으로 정밀 포지셔닝 및 피에조 기술 분야의 리더십을 입증하고 있습니다. PI는 유럽, 북미 및 아시아에 9개의 생산 시설과 16개의 영업 및 서비스 지사를 보유하고 있습니다.