- Products - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
PI의 고속 XYZ 나노포지셔너: 99.97% 선형도의 뛰어난 정밀도로 산업 및 연구 분야의 생산성 향상
탁월한 성능 덕분에 PIMars 시스템은 정밀도가 중요한 응용 분야에서 큰 부가가치를 제공합니다. 이 시스템은 99.97% 선형도와 2nm 반복 정밀도를 달성하며, 최대 300µm 이동 범위와 10ms 미만의 step-and-settle 시간을 제공합니다. 탁월한 평면도(±30nm Z축 직진도 및 평탄도)를 통해 복잡한 셋업에서도 매우 높은 정확도를 구현할 수 있습니다.
효율성 및 공정 신뢰성
산업 응용 분야와 까다로운 연구 환경에서는 장기적인 안정성과 공정 신뢰성이 요구되며, 이를 통해 다운타임 최소화와 유지보수 비용 절감을 실현할 수 있습니다. 병렬 위치 측정 기능을 갖춘 피에조 구동 디바이스 덕분에 PIMars 시스템은 나노미터 수준의 이동 정밀도와 고속 동작을 동시에 제공합니다. 속도와 정밀도의 결합은 중요한 응용 분야에서도 생산성을 크게 높여줍니다. 이 모션 기술은 진동, 충격, 온도 변화에 상관없이 항상 마모 없이 안정적이고 견고하게 동작합니다. 유격이 없는 플렉셔 가이드도 중요한 역할을 합니다.
연구 및 산업 분야에서의 다양한 응용
PI의 고정밀 XYZ 나노포지셔닝 시스템은 다양한 응용 분야를 지원합니다. 현미경 및 생명과학 분야에서는 초분해능 및 공초점 현미경, AFM, 라이브 셀 이미징에서 초정밀 위치 제어를 가능하게 합니다. 포토닉스 및 광학 분야에서는 광섬유 및 광학 정렬, 간섭계, 정밀 광학 조정과 같은 과제를 해결합니다. 또한, 투과 애퍼처는 빔 정렬 작업과 기타 다양한 포토닉스 및 현미경 응용 분야에서 추가적인 유연성을 제공합니다. 반도체 및 계측 분야에서는 웨이퍼 검사, 리소그래피, 마스크 정렬, 결함 검출 등의 시나리오에서 XYZ 나노포지셔닝 시스템이 활용됩니다. PI의 시스템은 나노구조체의 정밀한 조작과 조립 등 나노기술에도 크게 기여하고 있습니다.
자세한 내용은 P-561 • P-562 • P-563 PIMars 나노포지셔닝 스테이지를 참조하세요
Physik Instrumente(PI) 소개
독일 카를스루에에 본사를 둔 PI는 산업 자동화, 포토닉스, 반도체, 현미경 및 생명 과학의 시장 부문에서 고정밀 위치 제어 기술 및 피에조 애플리케이션 분야의 시장 및 기술 리더입니다. 전 세계 고객과 긴밀히 협력하는 PI의 1,900명 이상의 전문가는 50년 이상 기술적인 실현 가능성의 한계를 끊임없이 뛰어넘어 왔습니다. 다양한 드라이브 기술, 자체 개발한 센서 기술, 전자 장치 및 제어 기술이 이를 위한 기반이 됩니다. PI의 포트폴리오는 부품에서 하위 시스템, 완전한 맞춤형 솔루션에 이르기까지 다양합니다. 560개 이상의 특허를 취득했거나 출원 중으로 정밀 위치 제어 및 피에조 기술 분야의 리더십을 입증하고 있습니다. PI는 유럽, 북미 및 아시아에 9개의 생산 시설과 16개의 영업 및 서비스 지사를 보유하고 있습니다.