[PI Korea] 고정밀 웨이퍼 가공을 위한 에어베어링 시스템

다가오는 3월 27일(수) ~ 29일(금), COEX에서 개최되는 Smart Factory + Automation World 2019에 PI Korea가 참가합니다.

이번 전시는 COEX 전관에서 개최되는 만큼 PI Korea도 규모를 확대해 참가하며, 산업 자동화를 위한 혁신적인 제품 및 애플리케이션 솔루션을 선보일 예정입니다.

사전 등록 기간은 3월 25일(월)까지이며 뉴스레터 하단의 링크를 통해 초청장을 다운받으실 수 있습니다.

PI Korea의 새로운 전시 데모 리스트는 다음 링크를 참조해주세요. >자세히보기

Sungkyung Hyung / Marketing Dept.

고정밀 웨이퍼 가공을 위한 에어베어링

에어베어링 리니어 및 로테이션 테이블은 고정밀 포지셔닝이 가능하므로 반도체 및 전자 제조의 검사, 측정 및 가공 작업에 적용될 수 있습니다.

이 시스템은 A-311 선형 에어베어링 스테이지 및 A-623 회전 스테이지로 구성되어 있습니다.

ACS의 EtherCAT® Motion Controller와 함께 레이저 제어 모듈을 통해 직접 제어되며, 스탠다드 이더넷 케이블을 통해 자동화 컨트롤러에 연결됩니다.

이번 전시회에서 A-311의 구동 방식을 직접 확인하시고 기술 상담을 받아보세요.


V-508 고정밀 리니어 모터

V-508은 700 mm/s의 속도, 나노미터 분해능, 최대 250 mm의 변위를 갖춘 고정밀 리니어 모터입니다.

또한, 마그네틱 다이렉트 드라이브 타입으로 마찰이 없고 유지 보수가 필요없으므로 부드러운 모션, 빠른 가속도 및 긴 수명을 보장하며, 크로스 롤러 가이드를 사용해 높은 가이드 정확도와 큰 하중을 가능하게 합니다.

V-508의 원리 및 장점을 영상으로 확인해보세요. >자세히 보기


Nanopositioning for Microscopy

bild PI

"Nanopositioning for Microcopy" 브로셔는 서브나노미터 정밀도로 샘플과 렌즈를 배치할 수 있는 스캐너와 6자유도 모션 등 포괄적인 솔루션을 제공합니다. >PDF 다운로드

Smart Factory + Automation World 2019

일시 : 2019년 3월 27일(수) - 29일(금)

시간 : 10:00 - 17:00 (29일, -16:00)

장소 : COEX, A홀 F128

> PDF초청장 다운로드


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