- Products - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

높은 이동 정확도 및 안정성을 위한 정밀 XY 스테이지

광학 검사, 레이저 컷팅 및 마킹, 산업 측정 기술, 현미경 검사에는 높은 정확도, 안정성, 처리량을 위한 빠른 포지셔닝 시스템이 필요합니다. PI(Physik Instrumente)는 많은 애플리케이션에 정밀 솔루션을 제공하기 위해 다양한 옵션의 XY 스테이지를 개발하였습니다.

소형 포지셔닝 시스템의 이동 범위는 X, Y 방향으로 100~300mm이며, 최대 500mm/s 속도, 0.05μm의 단방향 반복도를 갖습니다. 통합된 고분해능 리니어 인코더는 플랫폼에서 위치를 직접 측정합니다. 또한 평평한 프로파일을 가진 평면 설계는 적층 오차를 최소화하고 강성을 높입니다. 위나 아래에서 샘플 또는 작업물에 접근할 수 있도록 중앙에 큰 애퍼처가 있는 버전도 제공합니다.

XY스테이지는 PI컨트롤러 또는 EtherCAT®기반 ACS제어 모듈에 의해 제어되며, 모션 패턴과 관련하여 레이저 또는 측정 도구를 제어하기 위한 트리거링을 추가로 제공합니다.

다양한 요구사항을 위한 모터 옵션

XY 스테이지 시리즈에는 리니어 모터 다이렉트 드라이브(V-731, V-738, V-741)와 Stepper 및 DC모터(L-731, L-738, L-741)가 있습니다. 3상 마그네틱 리니어 모터는 구동 트레인에 기계 부품이 필요하지 않으며 마찰 없이 직접 구동 플랫폼으로 구동력을 전달합니다. 따라서 최대 500mm/s 속도가 가능하며 아이언리스모터는 영구 자석 사이의 코깅 현상이 없기 때문에 높은 정밀도를 요하는 포지셔닝에 적합합니다. 또한, 가장 낮은 속도에서도 부드러운 주행을 가능하게 하며 높은 속도에서 진동이 발생하지 않습니다.

L-731, L-738, L-741 XY스테이지는 Stepper 또는 DC모터를 사용하여 최대 90mm/s의 속도로 작동하며 정밀 볼 스크루를 구동할 수 있습니다. 또한 2상 스테퍼 모터는 낮은 속도에서 높은 토크를 발생시킵니다. 부드러운 주행과 높은 속도가 필요한 애플리케이션에서는 DC모터를 권장합니다.

XY스테이지 사양에 대한 자세한 내용은 제품 페이지를 참조해주세요:

V-731  V-741  V-738 with aperture

L-731  L-741  L-738 with aperture

 

About PI

PI(Physik Instrumente)는 높은 품질의 정밀 포지셔닝 기술을 선도하는 글로벌 기업으로서 50년 동안 피에조 및 모터 드라이브 제품을 개발하고 제조해왔습니다. PI는 다축 및 고정밀 드라이브 시스템을 위한 모듈식 모션 컨트롤러의 세계적인 제조업체인 ACS Motion Control의 다수 지분을 획득함으로써 산업용 애플리케이션 시스템을 가장 높은 정밀도와 역동성으로 제공합니다. PI그룹은 독일의 4개 지점 외에도 15개의 지사를 두고 있습니다.

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Others

Press information kit - XY Stages

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