- Products - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

높은 역동성, 긴 이동 범위, 중력 보상을 갖춘 수직 포지셔닝 시스템: 중앙에 있는 센서의 광학 포커싱, 스캐닝, 높이 조정 기능

게놈 시퀀싱, 다광자 형광 현미경, 심층 조직 검사, 레이저 가공, 웨이퍼 검사, 마그네틱 핀셋 등 현미경 및 산업 연구 분야에서 긴 이동 범위, 높은 역동성, 정밀도를 갖춘 수직 포지셔닝 시스템이 요구되고 있습니다. PI는 모든 요구 사항을 통합하는 새로운 V-308 보이스코일 PIFOC을 통해 magnetic direct drive 기반 솔루션을 제공합니다.

V-308 PIFOC의 핵심 요소는 단축 슬라이더로, 고정밀 크로스 롤러 가이드가 베이스 바디에 배치됩니다. 슬라이더는 높은 역동성을 위해 특수 개발된 PIMag® 보이스코일 모터에 의해 구동됩니다. 7mm의 긴 이동 범위는 사용자가 조정 가능한 하드 스톱을 통해 위아래로 제한할 수 있습니다. 가속도는 최대 8m/s2, 최대 속도는 200mm/s입니다. 이로 인해 ±15nm 오류 대역에서 15msec 이내의 step-and-settle times로 100nm 및 250nm 스텝 사이즈가 가능합니다. 따라서 포커싱 유닛의 빠른 포지셔닝, 신속한 데이터 수집 및 높은 생산성을 달성할 수 있습니다.

고해상도 광학 PIOne 리니어 인코더를 통해 높은 정밀도를 달성합니다. 최소 10nm의 정밀도와 25nm의 양방향 반복도를 구현할 수 있습니다.

Magnetic Weight Force Compensation

새로운 V-308 PIFOC의 특징은 중력 보상입니다. 전원 공급없이 슬라이더와 장착된 부하의 부상을 보장하므로 정전 시 또는 컨트롤러의 전원을 끌 때 낙하로 인한 충돌을 방지할 수 있습니다. 축을 유연하게 사용하기 위해 사용자는 낙하물에 대응하는 힘을 조정하여 최대 1kg의 전체 부하를 보상할 수 있습니다. 이로 인해 실제로는 축을 세워서 사용하지만 수평하게 사용하는 것과 동일한 효과를 줍니다.

Easy Integration Thanks to a Compact Design and Versatile Accessories

드라이브는 87 x 77 x 30 mm (H/W/D)로 매우 컴팩트합니다. 어댑터 플레이트를 이용하여 광학 테이블 또는 플레이트에 장착할 수 있습니다. 두 개의 다른 대물렌즈 홀더(수직 또는 수평 마운팅용)와 M32 X 0.75 크기까지 다양한 직경의 대물렌즈용 어댑터 링 세트를 사용할 수 있습니다.

기본적으로 V-308 PIFOC는 특수 개발된 C-414 컨트롤러와 함께 제공됩니다. 또한 EtherCAT 기능이 내장된 ACS 컨트롤러로 축을 구동할 수 있습니다. 사용자는 서보 컨트롤 매개변수(“gain scheduling”)를 능동적으로 제어할 수 있으며, ServoBoost와 같은 다른 ACS 기능과 함께 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다.

 

About PI

Karlsruhe에 본사를 두고 있는 PI (Physik Instrumente)는 고정밀 포지셔닝 기술과 반도체, 생명과학, 포토닉스, 산업 자동화 내 피에조 애플리케이션의 글로벌 리더입니다. 50년의 경험 및 전세계 고객과의 협력을 통해 1,300명의 PI 전문가들은 기술적 한계를 뛰어넘어 맞춤형 솔루션을 개발하고 있습니다. PI는 350개의 특허를 출원했으며 유럽, 북미 및 아시아에 6개의 생산 시설과 15개의 지사를 보유하고 있습니다.

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