경제적인 모듈형 XYZ 포토닉 정렬

많은 수량과 높은 정밀도 요구사항을 충족하기 위한 자동화 및 신속한 정렬 절차의 필요성

빠르게 성장하는 실리콘 포토닉스 분야에서, 인풋과 아웃풋을 연결하기 위한 아주 정밀한 정렬은 끊임없는 도전입니다. 실험실과 생산 애플리케이션에서는 수 나노미터의 크기에 민감할 수 있는 커플링들을 달성, 유지 및 특성화해야 합니다. 정렬의 섬세한 서브미크론 특성과 전자 제조의 흐름에 기술이 점차 통합됨에 따라 수량이 급격히 증가하고 있기 때문에 자동화가 필요합니다.

스캔 및 정렬 스루풋을 향상시키는 효과적인 통합 스캔 루틴

영역 스캐닝 기능의 완전한 통합은 점별 접근(pointwise approach)를 피할 수 있으므로 스캔 대기 시간과 정착 시간이 단축되어 스캔 및 정렬 처리량이 크게 향상될 수 있습니다. 단일 주파수, 사인파 방식이 사용되어 전통적인 래스터보다 상당히 진보되었고 시간이 많이 소요되는 정지 및 시작을 부드러운 논스톱 모션으로 대체합니다. 사용자는 스캔 주파수를 설정하여 스캔 속도와 장치의 구조적 공진이 발생하지 않도록 할 수 있습니다.

단일 명령으로 스캔을 시작하면 여러 축 위치에서 광학 데이터를 동시에 획득하는 통합 데이터 기록을 활성화할 수 있습니다. 이러한 매우 효과적인 스캔은 PI가 수상했던 산업용 포토닉 정렬 시스템의 중요한 파트입니다. 모든 제어는 디지털이며 전자 조정 없이 쉽게 로드를 수용할 수 있습니다. 또한 모든 이동 축에는 고분해능 위치 센서가 통합되어 있어 작동 중에 시스템의 위치를 알고 제어할 수 있으므로 장치 및 사용자의 안전 문제를 해결할 수 있습니다.

모든 디지털 제어가 가능한 경제적인 솔루션

PI의 새로운 F-131 모듈형 XYZ 포토닉 정렬 시스템은 포토닉 부품의 개발, 연구 및 테스트를 위한 훌륭한 기반입니다. 15mm 변위의 고정밀 closed-loop DC 모터 스테이지와 고속 및 2nm 분해능의 피에조 플렉쳐 스테이지를 재구성하여 통합할 수 있습니다.

디지털 제어는 인풋, 아웃풋을 위한 연결 장치와 맵핑, 최적화, 특성화를 위해 내장된 데이터 레코더 및 저진동  통합 고속 스캔 명령을 제공합니다. 고속 이더넷 및 USB 인터페이스, 광 계측을 위한 고분해능 아날로그 인풋, 풍부한 소프트웨어 라이브러리는 빠른 생산성과 사용의 유연성을 보장합니다. 강력한 PIMikroMove 그래픽 유틸리티는 쉬운 컨트롤과 시각화 기능을 즉시 사용할 수 있도록 하며 NI LabVIEW, Python, MATLAB 및 기타 프로그래밍 환경 예제를 제공합니다. Windows, macOS, Linux를 포함한 플랫폼 지원은 효율적인 개발을 위해 문서화되었습니다. 선택 사양인 C-990.FA1 소프트웨어는 빛을 전송하는 부품의 자동 정렬을 가능하게 합니다. 또한 옵션인 F-712.PM1 광 파워 미터는 넓은 스펙트럼 범위에서 고 대역폭의 광학 계측을 가능하게 합니다.




저자 정보

Scott Jordan

Head of the Photonics Market Segment, PI (Physik Instrumente) L.P.

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