고분해능 측정 기술을 이용한 정밀 모션 포지셔닝

외부 간섭계 vs 내부 센서

PI 센서 기술 개발 엔지니어 Jonas Schansker는 Zygo 간섭계를 사용하는 PI 포지셔너의 제어를 설명하는 화이트페이퍼를 작성하였습니다.
그는 설정 실험과 간섭계를 사용하여 측정 결과를 내부 센서에 의해 수행된 것과 비교하며 측정 기술에 대한 간섭계를 사용하는 적용 가능성 및 예외 사항을 다뤘습니다.

아래 „Controlling PI Positioners with External Zygo Interferometer“ 에서 확인하실 수 있습니다.

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외부 Zygo 간섭계를 이용한 PI 포지셔너 제어

버전 / 날짜
WP4017K 2018-11
버전 / 날짜
WP4017E 2018-11
버전 / 날짜
WP4017D 2018-11
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저자 정보

Kathrin Mössinger

Global Campaign Manager, Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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