긴 변위 및 헤비 로드를 위한 정밀 나노 포지셔닝

하이브리드 시스템과 함께

하이브리드 드라이브는 두 가지 드라이브 컨셉과 이점을 취합해 고성능의 정밀 포지셔닝 시스템으로 결합합니다. 한 드라이브가 애플리케이션의 모든 요구 사항을 충족할 수 없을 때 매우 유용한 솔루션입니다. 예를 들어 긴 변위, 무거운 하중, 나노미터 정밀도를 달성해야 할 때입니다. 따라서 피에조 드라이브와 기존의 드라이브 나사를 결합한 나노 시스템도 실용적인 솔루션을 제공하며 다른 드라이브 컨셉도 가능합니다.

반도체 제조, 품질 보증, 광학 검사 등이 하이브리드 드라이브를 응용하는 대표적인 애플리케이션입니다.

아래 첨부파일에서 하이브리드 드라이브 컨셉에 대해 자세히 알아보실 수 있습니다.

피에조 액추에이터를 이용한 하이브리드 나노포지셔닝 시스템

긴 변위, 헤비 로드, 정확한 포지셔닝
버전 / 날짜
WP4014K 2018-10
버전 / 날짜
WP4014E 2018-10
버전 / 날짜
WP4014D 2018-10
문서 언어
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저자 정보

Kathrin Mössinger

Global Campaign Manager, Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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